Patterning block copolymer thin films by deep X-ray lithography / Innocenzi, Plinio; Tongjit, Kidchob; Stefano, Costacurta; Paolo, Falcaro; Benedetta, Marmiroli; FERNANDO CACHO, Nerin; Heinz, Amenitsch. - In: SOFT MATTER. - ISSN 1744-683X. - 6:(2010), pp. 3172-3176. [10.1039/b925105g.]

Patterning block copolymer thin films by deep X-ray lithography

INNOCENZI, Plinio;
2010-01-01

2010
Patterning block copolymer thin films by deep X-ray lithography / Innocenzi, Plinio; Tongjit, Kidchob; Stefano, Costacurta; Paolo, Falcaro; Benedetta, Marmiroli; FERNANDO CACHO, Nerin; Heinz, Amenitsch. - In: SOFT MATTER. - ISSN 1744-683X. - 6:(2010), pp. 3172-3176. [10.1039/b925105g.]
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