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Deep X-ray Lithography for Direct Patterning of PECVD Films / Costacurta, S; Malfatti, Luca; Patelli, A; Falcaro, P; Amenitsch, H; Marmiroli, B; Grenci, G; Picinini, M; Innocenzi, Plinio. - In: PLASMA PROCESSES AND POLYMERS. - ISSN 1612-8850. - 7:(2010), pp. 459-465. [10.1002/ppap.200900147]

Deep X-ray Lithography for Direct Patterning of PECVD Films

MALFATTI, Luca;INNOCENZI, Plinio
2010-01-01
2010
Deep X-ray Lithography for Direct Patterning of PECVD Films / Costacurta, S; Malfatti, Luca; Patelli, A; Falcaro, P; Amenitsch, H; Marmiroli, B; Grenci, G; Picinini, M; Innocenzi, Plinio. - In: PLASMA PROCESSES AND POLYMERS. - ISSN 1612-8850. - 7:(2010), pp. 459-465. [10.1002/ppap.200900147]
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